从耳机杀到汽车芯片！中国MEMS逆袭370亿砸出全球

　　，增芯科技12英寸晶圆制造产线正式投产。这条产线有个响亮的名头，国内首条、全球第二条12英寸MEMS晶圆制造产线月通线个月。增芯总经理张亮在投产仪式上激动地表示，增芯可以在增城生产第一批芯片产品了。

　　这只是开始。根据市场研究机构Yole Group的数据，2024年大中华区MEMS产业营收达17亿美元，同比增长8.4%，出货量约54亿颗。到2030年，市场规模将达到20亿美元。数字背后，是中国MEMS企业从消费电子杀入汽车、工业、医疗等高端领域的全面扩张。

　　增芯这条产线投资规模不小。一期投资70亿元，设计产能2万片每月，预计2025年底达到这个目标。二期产能4万片每月，投资100亿元。

　　第三期产能6万片每月，投资200亿元。三期总投资370亿元，满产后年产能将达到12万片12英寸晶圆。

　　12英寸晶圆产线英寸晶圆面积增加一倍多，单片产出芯片数量大幅提升，成本可以降低30%以上。

　　此前全球只有一家企业建成12英寸MEMS产线，增芯是第二家。这条产线的投产，让中国在MEMS制造环节真正有了话语权。

　　微实现营业收入45亿余元，按销售额计，其是全球第五大、中国第一大智能传感交互解决方案提供商。

　　递交招股书，拟香港主板挂牌上市。士兰微也在加速。2025年上半年，士兰微MEMS传感器产品营收较去年同期增加10%。国内大多数手机品牌厂商已在大批量使用公司

　　朱樟明、钟龙杰团队合作的论文《A 3-Axis MEMS Gyroscope with 2.8ms Wake-Up Time Enabled by a 1.5μW Always-On Drive Loop》成功入选，并在传感器接口电路分会场作为首篇文章进行报告。ISSCC是全球集成电路设计领域最高级别会议，这篇论文的入选说明中国MEMS企业在技术研发上已经接近国际一流水准。相关技术将应用于士兰微公司下一代MEMS六轴传感器芯片产品。

　　瑞声科技的表现同样亮眼，2025年上半年，瑞声科技传感器及半导体业务收入为人民币6.08亿元，同比增长56.2%，主要受益于集团的高信噪比麦克风大规模向海外客户出货。

　　也在快速增长。2025年上半年度敏芯股份的营业收入创历史同期新高，达到3亿元，同比增加47.82%。敏芯股份布局了应用于AI眼镜的骨传导声学传感器，这是MEMS声学传感器作为AI语音交互技术中声音信号的第一输入口带来的新机会。更关键的是，这些企业不再满足于消费电子市场，开始向汽车和工业领域突破。士兰微在MEMS传感器领域主要聚焦在惯性和压力这两个主要的产品与工艺技术平台。

　　2025年将会有多款车用MEMS传感器产品推出，包括辅助驾驶系统的高精度惯性传感器、安全气囊的碰撞传感、

　　中宏微宇的IMU产品已实现客户突破，营业收入显著提升，该公司正着手研发未来可用于车载、机器人、农机等不同应用领域的IMU产品。

　　汽车市场对MEMS的需求正在爆发。智能座舱普及后，语音控制、车内降噪、驾驶员监测系统对MEMS麦克风的需求暴增。新能源汽车的电池包安全监控、震动监测和姿态检测，也为惯性传感器打开了增量空间。虽然安全相关应用（如TPMS胎压监测、气囊触发加速度计等）仍由博世

　　意法半导体等欧美厂商主导，但局势正在变化。制造端的崛起是中国MEMS产业能够逆袭的关键。2024年大中华区MEMS代工营收同比增长14.3%，制造端已成为产业增长的新引擎。目前，国内MEMS代工产线布局初具规模，形成了以芯联集成、赛微电子、华润微、广州增芯、士兰微、华鑫微纳、积塔半导体为代表的核心阵列。

　　芯联集成是国内规模最大、技术最先进的MEMS晶圆代工厂。根据Chip Insights数据，芯联集成已跻身全球MEMS代工第一梯队，并位列全球专属

　　代工榜单前十，居中国大陆第四。自2018年成立以来，芯联集成不仅专注于MEMS代工，还涵盖功率器件、BCD工艺、MCU等四大技术方向。在消费电子领域，芯联集成新一代高性能MEMS麦克风研发平台已经完成，填补了国内技术空白，并已进入产品送样阶段。

　　华润微也在MEMS智能传感器领域实现了多项技术突破。例如，首次采用异构集成技术制造MEMS高端

　　硅麦麦克风传感器，这在MEMS智能传感器领域属于国际首创，性能对标国际领先水平，信噪比达到70dB，关键工艺优化完成，良率大幅提升，初步具备风险量产条件。

　　安徽华鑫微纳成立于2022年3月10日，主要从事MEMS晶圆制造，公司定位为国内领先的8英寸MEMS晶圆代工企业以及国内领先的开放式、定制化MEMS代工平台基地。投资50.6亿元，规划2025年建成1万片每月、2027年建成3万片每月的8英寸MEMS晶圆制造能力。赛微电子作为国内老牌的纯MEMS代工厂，已积累了超过20年的行业经验。其

　　瑞典Silex，曾在2019年到2024年全球MEMS纯代工厂商排名中位居第一。

　　而由于地缘政治风险,赛微已出售瑞典Silex的控制权，目前持股45.24%，已于2025年7月完成

　　转让控制权后，赛微将专注于发展并深化北京产线。赛莱克斯北京作为国内领先的纯MEMS代工企业，已实现1.5万片每月的产能，并计划分阶段扩充产能，预计在未来几年将提升至3万片每月。

　　赛微电子也在财报中透露正筹划在自有半导体产业园区内新建12英寸MEMS产线。除了代工厂，一些领先的MEMS厂商正加大在制造端的投资，从设备工艺到封装优化逐步实现设计-制造-封测一体化。

　　与代工厂共建的8英寸MEMS生产线英寸MEMS特色芯片IDM产业基地项目通线亿元。

　　纳米产业技术研究院等科研院所，也为中国MEMS产业提供了关键的制造支撑与创新基础。上海工研院成立于2013年，由上海市科委、嘉定区政府和新微集团共建，依托科研-转化-产业化一体化体系，打造了集研发、孵化与人才培养于一体的公共平台。SITRI的8英寸MEMS平台具备从研发到中试的完整能力，兼容CMOS与MEMS特殊工艺，可实现温度、红外、惯性、压力、声学等多类传感器的工艺开发与小批量量产。目前已形成14套标准化

　　苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司是国内领先的商业化6英寸全流程MEMS研发、中试和批量化生产基地，平台现有3000平方米高标准洁净厂房，总计超过200台MEMS专用设备。自2014年8月产品通线以来，导入客户一百余家，累计支撑客户完成400余颗项目开发，实现单月产出5000片晶圆。2025年中国MEMS传感器市场规模将达到981.74亿元，2026年突破千亿大关（1071.05亿元），2027年进一步增长至1158.13亿元。在汽车智能化、AI边缘计算、工业物联网等多重浪潮推动下，MEMS传感器的应用场景还在不断扩展。

　　中国MEMS产业的崛起，靠的是十几年的技术积累和近几年的产能扩张。从消费电子到汽车工业，从芯片设计到晶圆制造，

　　370亿投资的12英寸产线，只是这场产业升级的一个缩影。接下来几年，中国MEMS企业能否在高端市场站稳脚跟，就看技术能不能继续突破，产能能不能跟上需求。

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